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Talysurf CCI白光干涉表面轮廓仪

Talysurf CCI白光干涉表面轮廓仪

Talysurf CCI白光干涉表面轮廓仪

  • 市场价:面议
  • 产品编号:C16149
  • 原产地:英国
  • 产品型号:Talysurf CCI
  • 技术参数

    (1) 类型: CCI 干涉(相干相关干涉)
    (2) 分辨率: 0.1 A
    (3) 测量点数: 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
    更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。

    主要特点

    •专利的相干相关算法
    •0.01nm分辨率
    •10-20秒测量时间
    •RMS重复性:0.03A

    仪器介绍

    Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI(专利技术的相干相关算法)干涉原理,可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸,并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件,半导体器件,光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。

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